НИИТМ поставил установку эпитаксии «Эписэнд ТМ» для производства чипов

Опубликовано: 17:00, 03.08.2026

НИИТМ из ГК «Элемент» изготовил и передал заказчику установку эпитаксии из твёрдого источника «Эписэнд ТМ». Она рассчитана на выпуск полупроводниковых структур для чипов и силовой электроники. Для российской микроэлектроники это ещё один шаг к тому, чтобы закрывать такие


линии своими машинами, а не импортом. Установка выращивает эпитаксиальные структуры и наносит сверхтолстые слои поликристаллического кремния методом «сэндвич»-эпитаксии. По данным компании, одновременно можно обрабатывать четыре пластины диаметром 100 мм, а индукционный ВЧ-нагрев в системе разгоняется до 1300 градусов Цельсия. В НИИТМ отдельно говорят о двухпозиционной схеме загрузки. Она рассчитана на две лодочки с графитовыми платформами. И вот тут


важна не только сама конструкция. Эпитаксиальное оборудование выпускают считаные страны, а после санкций такие поставки в России стали и сложнее, и дороже. Что умеет «Эписэнд ТМ» Эпитаксия нужна для выращивания тонких кристаллических слоёв с заданными свойствами. Без такого оборудования не обходятся линии, где делают силовые полупроводники, датчики и часть компонентов для электроники. У новой установки


НИИТМ главный козырь — производительность. Несколько пластин обрабатываются одновременно, поэтому цикл получается короче. А высокая температура процесса расширяет набор материалов и режимов, с которыми можно работать. Индукционный ВЧ-нагрев до 1300


°C Одновременная обработка до 4 пластин Диаметр пластин: 100 мм Двухпозиционная система загрузки Импортозамещение оборудования для чипов в России Разработка входит в программу «Развитие электронного машиностроения до 2030 года». У отрасли там задача вполне приземлённая:


убрать дефицит оборудования, которое раньше почти целиком везли из-за рубежа. В ГК «Элемент» рассчитывают заменить собственными разработками до 70% критически важного оборудования, где на мировом рынке остаются один-два поставщика из недружественных стран. Процесс не быстрый. Минпромторг ранее выделял почти 2 млрд рублей на замену американского и европейского оборудования для чипов, а сама линия импортозамещения в отрасли идёт


уже несколько лет. На этом фоне «Эписэнд ТМ» выглядит не отдельной машиной, а одним из звеньев цепочки. Чем больше таких установок дойдёт до серийных поставок, тем меньше у российских фабрик будет зависимость от внешних закупок и тем проще станет собирать полный технологический


цикл внутри страны.


НИИТМ поставил установку эпитаксии «Эписэнд ТМ» для производства чипов

Сообщает itzine.ru

 

Новость из рубрики: Технологии и Hi-Tech

 

Поделиться новостью: Поделиться новостью в Facebook Поделиться новостью в Twittere Поделиться новостью в VK Поделиться новостью в Pinterest Поделиться новостью в Reddit

 

Топ Новости Недели Топ Новости Недели

 

Росатом за 257 млн рублей создаст российскую установку для производства микроэлектроники 22:00, 03 Июл «Росатом» за 257 млн рублей создаст российскую установку для производства микроэлектроники Это будет аналог словенской установки KEKO CAM-C35В России создадут отечественный аналог словенской установки KEKO CAM-C35, которая используется при ...

Первая в мире: Индия запустила уникальную атомную установку для производства водорода 08:00, 28 Июн Первая в мире: Индия запустила уникальную атомную установку для производства водорода Установка использует тепло, вырабатываемое экспериментальным быстрым реакторомИндия запустила первую в мире установку по производству водорода, испол...

МГТУ СТАНКИН разработал автоматическую установку для монтажа чипов 13:00, 11 Июл МГТУ «СТАНКИН» разработал автоматическую установку для монтажа чипов Специалисты МГТУ «СТАНКИН», при поддержке индустриального партнёра из Курска «Совтест АТЕ», создали автоматическую установку для монтажа полупроводни...

Чипы без ASML: Россия и Белоруссия готовят собственное оборудование для производства 65-нанометровых чипов 23:00, 23 Июл Чипы без ASML: Россия и Белоруссия готовят собственное оборудование для производства 65-нанометровых чипов Разрабатывает новое оборудование белорусское предприятие «Планар»Россия и Белоруссия совместно создают новое оборудование для производства микросхем....

В Южной Корее заканчивается газ для производства чипов  дефицит высокочистого CO2 может еще больше ударить по ценам на память 22:00, 29 Июн В Южной Корее заканчивается газ для производства чипов — дефицит высокочистого CO2 может еще больше ударить по ценам на память Именно предприятия Южной Корее выпускают наибольший объем памяти NAND и DRAMПроизводители полупроводников в Южной Корее столкнулись с сокращением зап...

Нововведения Android усложнят установку RuStore и российских APK-приложений 10:00, 03 Авг Нововведения Android усложнят установку RuStore и российских APK-приложений Компания Google меняет правила проверки разработчиков приложений для Android и делит их по регионам. Об этом пишет Security Lab. Согласно источнику, ...

Китайская полиция извинилась за установку 10 камер наблюдения на одной точке 01:00, 30 Апр Китайская полиция извинилась за установку 10 камер наблюдения на одной точке Случай, произошедший в китайском городе Циндао (провинция Шаньдун), наглядно продемонстрировал, что даже в стране с самой масштабной в мире системой ...

Harley-Davidson 1920-х получил гибридную установку от Джейсона Момоа 07:00, 10 Июн Harley-Davidson 1920-х получил гибридную установку от Джейсона Момоа Актер увлёкся переделкой классики в электромобили — начал с Rolls-Royce Phantom II 1929 года, затем сделал миниатюрный Bentley Blower EV. Теперь очер...

09:00, 09 Июл Ростех поставил в армию самолеты Су-30СМ2 и Су-34 Госкорпорация Ростех поставила в Вооружённые силы России новые партии многофункциональных истребителей Су-30СМ2 и истребителей-бомбардировщиков Су-34...

06:00, 01 Июл Австралиец поставил рекорд Гиннесса: кричал как взлетающий самолёт Австралиец установил мировой рекорд громкости голоса — кричал как взлетающий самолет 58-летний австралиец Джозеф Макгрейл-Бейтап крикнул на 122,4 дец...

09:00, 26 Июн Науку превратили в охоту на ведьм: технический сбой алгоритмов поставил карьеры под удар Научное сообщество столкнулось с парадоксом: искусственный интеллект внедряется в лаборатории быстрее, чем ученые успевают договориться о правилах иг...

04:00, 13 Июн Я поставил Telegram на Apple Watch и просто в шоке. Это худшее приложение для часов из всех Apple Watch — это история не про длинные диалоги, а про быстрые ответы на бегу. Недавно в App Store появилось приложение Telegram для Apple Watch, и ...

11:00, 19 Июн Маленький, но уже взрослый на вид: древний житель болот поставил под сомнение путь на земную сушу Ученые пересмотрели сценарий выхода первых обитателей океана на сушу. Долгое время считалось, что наши далекие предки проходили через стадию головаст...

01:00, 08 Июл Небо вздрогнуло от ярости: аномальный всплеск активности звезды поставил под удар земные технологии Солнечная активность достигла пиковых значений за последние два года: всего за одни сутки астрономы зафиксировали 26 вспышек класса C. Ученые связыва...

03:00, 10 Май Жить с родителями в 30 лет — не позор: рынок жилья поставил молодых перед фактом, который не обойти Герои советских мелодрам, живущие с родителями до седых волос, больше не кажутся объектами для иронии. Сегодняшние зумеры и тридцатилетние горожане д...

20:00, 29 Июл Павел Дуров поставил на аватарку своё фото в образе боевика — на фоне обвинений в содействии терроризму Основатель "ВКонтакте" Павел Дуров поставил на аватарку в телеграме своё фото в образе боевика. Миллиардер сделал это после того, как сегодня стало и...

09:00, 18 Июн Небо над Землей больше не общее: мощный рывок SpaceX поставил под вопрос безопасность всей планеты Компания Илона Маска SpaceX официально перешагнула рубеж, который ставит под сомнение возможности всех государственных агентств мира вместе взятых. С...

11:00, 15 Май BMW сняла с производства родстер Z4 Немецкая марка прекратила выпуск двухдверки Z4. Последний автомобиль поколения G29 сошел с конвейера на заводе Magna Steyr в Граце (Австрия). Таким о...

17:00, 15 Июл Краматорск: население, площадь, производства Краматорск — это крупный промышленный город в составе Донецкой Народной Республики.Где находится Краматорск?Он находится примерно в 100 км к северу о...

08:00, 02 Июн «У меня нет никаких данных о разбитых кораблях или телах инопланетян». Глава NASA поставил точку в главной тайне века При этом в США признают существование материалов о загадочных объектах, происхождение которых до сих пор не установленоГлава NASA Джаред Айзекман зая...

01:00, 09 Май Почему не все автобренды идут на локализацию производства в России Президент Ассоциации «Российские автомобильные дилеры» (РОАД) Алексей Подщеколдин рассказал, почему не все марки пока готовы открывать производство м...

12:00, 02 Июн Флагман российского производства станет доступнее — подробности Флагманский кроссовер Tenet T8 обзавелся версией с 5-местным салоном и передним приводом, сообщила пресс-служба российского прокси-бренда. Доселе Ten...

08:00, 20 Июн Sollers опубликовал подробности о рамном внедорожнике ST9 производства УАЗ Первый вице-премьер РФ Денис Мантуров осмотрел предсерийный внедорожник Sollers S9. В рамках этого визита было объявлено, что уже собрана и передана ...

03:00, 28 Май Porsche резко снизит объемы производства и сократит работников Вместо того чтобы увеличивать продажи, компания сосредоточится на маржинальности. В жертву принесут рабочие места и, вероятно, топ-менеджеров. Новый ...

20:00, 27 Июн J.D. Power перечислил 30 авто китайского производства, которые не ломаются Рейтинг качества автомобилей составлен на основе опроса 14 тыс владельцев 127 моделей, которые были приобретены с июля 2025 по февраль 2026 года. Исс...

07:00, 25 Май BMW Vision Alpina построили на базе снятой с производства 8‑й серии Концепт создали не на шасси 7‑й серии и не на удлинённой «четвёрке». За основу взяли снятую с производства 8‑ю серию Gran Coupe. Об этом сообщает Car...

13:00, 01 Июл Volkswagen предложит жителям Казахстана авто китайского производства В реестре Одобрений типов транспортных средств (ОТТС) опубликованы документы на Volkswagen Tayron L второго поколения. Как отмечает издание Колёса. k...

06:00, 18 Июн Учёные ЮУрГУ создали модель для производства сверхпрочных материалов Исследователи ЮУрГУ разработали и испытали математическую модель, которая впервые позволяет увидеть, как на самом деле растут кристаллы в быстро охла...

20:00, 01 Июл Отходы производства помогут управлять застыванием цемента, — разработка БелГУ Исследователи НИУ «БелГУ» совместно с коллегами из БГТУ им. Шухова предложили использовать отходы производства лимонной кислоты (цитрогипс) для регул...

23:00, 01 Июн Бастрыкин: ВСУ используют дроны производства стран НАТО для ударов по России При ударах по территории России Вооруженные силы Украины (ВСУ) используют беспилотные летательные аппараты производства, в том числе стран НАТО. Об э...

12:00, 29 Май КамАЗ: развитие маркетплейсов станет точкой роста для нашего производства Об этом в беседе с «Радиус» рассказал заместитель генерального директора ПАО «КамАЗ» по продажам и сервису Антон Сарайкин. По словам Сарайкина, в нас...

05:00, 03 Июл Тамбиев о возможном переходе Овечкина в «Динамо»: «В тройку к нему поставил бы кого-то помоложе, чтобы Саша хорошее влияние оказывал. Радулов и Сурин – идеальная связка» Главный тренер московского «Динамо» Леонид Тамбиев высказался о возможном переходе в клуб форварда Александра Овечкина. 1 июля срок действия контракт...

07:00, 26 Апр Россия вошла в четвёрку стран с полным циклом производства турбореактивных двигателей Президент НИЦ «Курчатовский институт» Михаил Ковальчук заявил, что Россия — одна из четырёх стран мира, наряду с США, Великобританией и Францией, спо...

23:00, 22 Май Tesla окончательно отказывается от планов локального производства в Индии после многолетних переговоров Компания прекратила обсуждение строительства завода, сославшись на тарифные разногласия, ограниченную рентабельность рынка и недозагруженность сущест...

14:00, 02 Авг ChipAgents привлекла ещё $60 млн на ИИ-платформу для проектирования чипов Стартап, разрабатывающий ИИ-агентов для проверки и оптимизации микросхем, сообщил о внедрении своей технологии более чем в 120 компанияхChipAgents пр...

06:00, 25 Май Huawei представила закон Tao для проектирования чипов Huawei предложила собственную альтернативу закону Мура и собирается вывести первый коммерческий чип с новой архитектурной схемой уже осенью 2026 года...

19:00, 01 Июл Китайские автопроизводители сокращают импорт чипов из-за санкций Китайские автопроизводители ускоряют переход на местные микросхемы для систем помощи водителю, бортовой электроники и вычислений ИИ. Причина не тольк...

14:00, 28 Апр Поставки чипов для смартфонов снизились на 8% в начале 2026 По данным аналитической компании Counterpoint Research, в первом квартале 2026 года глобальные поставки процессоров для смартфонов сократились на 8% ...

05:00, 19 Июн В Зеленограде готовят площадку для установки металлизации чипов ГК «Элемент» начала подготовку площадки в Зеленограде для первой российской промышленной установки алюминиевой металлизации чипов методом вакуумного ...

22:00, 26 Июл Zeiss расширяет выпуск оптики для 2-нанометровых чипов Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology расширяет площадку в Оберкохене, чтобы увеличить выпуск оптики для литографических систем ASML. Без таки...

08:00, 16 Июн Qualcomm обсуждает покупку разработчика ИИ-чипов Tenstorrent Qualcomm ведёт переговоры о покупке стартапа Tenstorrent, который разрабатывает серверные ИИ-ускорители, пишет Reuters со ссылкой на The Information....

12:00, 12 Июн Китай остановил поставки вольфрама в Японию для чипов Китай прекратил поставки высокочистого вольфрамового порошка в Японию, и это уже ударило по цепочке поставок материалов для производства чипов. Японс...

07:00, 13 Июн Китай запретил продажу и импорт GaN-чипов Infineon Верховный народный суд Китая оставил в силе судебный запрет против Infineon Technologies по делу о нарушении патентов на GaN-полупроводники, фактичес...

07:00, 13 Июн Huawei представила план Hongtu для 200 типов чипов Huawei объявила о запуске плана Hongtu, который должен расширить экосистему HarmonyOS далеко за пределы смартфонов и планшетов. Компания заявила, что...

21:00, 15 Май Android-смартфоны станут дороже iPhone из-за новых чипов Флагманские смартфоны на операционной системе Android в ближайшие месяцы рискуют сравняться по цене с iPhone, а в отдельных случаях — и превзойти их....

04:00, 13 Июн Google обсуждает выпуск части ИИ-чипов Icefish на Samsung Google ведёт переговоры с Samsung Electronics о производстве части своих будущих ИИ-чипов TPU поколения Icefish. Если договорённость состоится, компа...

00:00, 27 Июн Amazon Zoox показала серийную версию роботакси: до 100 машин в неделю и запуск обновлённого дизайна для массового производства Обновлённый автономный автомобиль получил улучшенную систему взаимодействия с пассажирами и пешеходами и готовится к масштабированию производства на ...

11:00, 03 Май Ученые СПбГУ создали новый тип логических элементов для нейроморфных чипов В пресс-службе Санкт-Петербургского государственного университета сообщили, что ученые вуза предложили свежий подход к созданию логических элементов ...

01:00, 07 Июн Запущен первый промышленный сканер для выпуска чипов по технологии 28 нанометров В подмосковном Зеленограде 6 июня 2026 года состоялась торжественная церемония запуска первого полностью отечественного литографического сканера, пре...

20:00, 09 Июл Apple и Broadcom заключили мегасделку на $30 миллиардов по производству чипов внутри США Компании продлили сотрудничество до 2031 годаApple объявила о многолетнем соглашении с Broadcom стоимостью более $30 млрд на разработку и производств...

14:00, 27 Апр MediaTek расширяет линейку чипов – представлены Dimensity 7450, 7450X и 7300e MediaTek представила чипсеты Dimensity 7450 и Dimensity 7450X. Полноценного анонса пока не было, однако обе модели уже появились на сайте производите...

22:00, 04 Июл Микросхемы без «перепаек»: представлена платформа для точного проектирования чипов на нитриде галлия Новая система позволяет ускорить создание чипов для базовых станций 5G, Wi-Fi-оборудования, спутниковых систем связиKeysight Technologies и тайваньск...

18:00, 06 Май Строительство мегазавода Terafab по производству чипов обойдется SpaceX в 55 миллиардов долларов Но общий объем инвестиций в крупнейшее полупроводниковое производство в мире будет намного большеSpaceX Илона Маска готовится к запуску амбициозного ...

16:00, 24 Май Китайские производители памяти усиливают давление на рынок DRAM и NAND: аналитики ждут снижения цен на фоне резкого роста производства Компании из КНР наращивают выпуск чипов памяти, а крупные мировые бренды уже тестируют их в продукции — рынок может столкнуться с разворотом «суперци...

02:00, 20 Апр Google расширяет цепочку поставщиков ИИ-чипов: в переговорах с Marvell Technology о новом TPU для инференса Компания обсуждает кастом ИИ-чипов на фоне смещения рынка в сторону инференса и роста ASIC-сегмента до $118 млрд к 2033 годуGoogle ведёт переговоры с...

23:00, 08 Июл Spirit Electronics открыла доступ к американскому производству 28-нм чипов для аэрокосмических и оборонных программ Компания предложила защищённый канал поставок отечественных полупроводников для аэрокосмической отрасли и проектов с контролируемой цепочкой производ...

14:00, 15 Июн Казахстан вложит $10 млрд в ИИ-инфраструктуру и создаст кластер на 100 тысяч новейших чипов Nvidia Проект «Долина ЦОДов» в Павлодарской области должен стать крупнейшей площадкой в Центральной Азии и приносить стране до $3 млрд экспортной выручки еж...

23:00, 11 Июн Россия всерьез берется за чипы: на разработку и запуск производства материалов для электронно-лучевой и взрывной литографии выделено почти 2 млрд рублей В России собираются импортозаместить немецкие, японские и американские резистыМинпромторг в рамках двух конкурсов выделил в общей сложности почти 2 м...

07:00, 01 Июл Surface Go и Surface Laptop Go сняты с производства, а новое поколение не планируется Редактор Windows Central Зак Боуден со ссылкой на собственные источники сообщает, что Microsoft прекратила производство Surface Go и Surface Laptop G...

08:00, 25 Июл Компания «НМ-Тех», которая строит завод по производству 28-нанометровых чипов, запустит собственную линию корпусирования микросхем «НМ-Тех» взялся упаковать российские чипыЗеленоградский производитель микроэлектроники «НМ-Тех» готовится освоить важный этап производства чипов — ко...

21:00, 13 Июл Спрос на микросхемы растёт: 4 завода TSMC по упаковке чипов создадут более 9000 рабочих мест Первый уже начал работуКомпания Taiwan Semiconductor Manufacturing Co (TSMC) объявила, что в научном парке Цзяи будут открыты еще два современных зав...

04:00, 13 Июн Google может впервые доверить часть выпуска своих ИИ-чипов Icefish в пользу Samsung вместо TSMC Для корейской компании это может стать одним из крупнейших успехов в борьбе за рынок передовых чипов для искусственного интеллектаGoogle ведёт перего...

17:00, 06 Июн Дешевая китайская память DDR5 — это миф. Чипы памяти CXMT стоят на уровне чипов Samsung, SK Hynix и Micron Преимущество CXMT не стоимость, а доступные объемы и отсутствие строгих контрактных ограниченийКитайский производитель памяти ChangXin Memory Technol...

05:00, 30 Май Новейший завод Samsung за $17 миллиардов оживает: массовый выпуск 2-нанометровых чипов на американской фабрике стартует в 2027 году В основном будут выпускать однокристальные системы Tesla AI5 и Tesla AI6Строительство большого завода Samsung по контрактному производству микросхем ...

14:00, 09 Май Завод из «российской Кремниевой долины» оказался на грани после мегапроекта по производству 130-нанометровых чипов: «Ангстрем» будут спасать Судьбу легендарного завода «Ангстрем» решат за ближайшие 18 месяцевЗеленоградский микроэлектронный завод «Ангстрем», накопивший долги более чем на 20...

13:00, 12 Июн Месть за санкции? Китай лишил Японию вольфрамового порошка, из-за чего может пострадать производство чипов TSMC, Samsung и SK Hynix Из вольфрамового порошка делают гексафторида вольфрама, необходимый для производства чипов памятиКитай прекратил поставки высокочистого вольфрамового...

07:00, 15 Май В России должны были запустить производство чипов на замену Intel, но исполнитель допустил просрочку на два года — Минпромторг выписал крупный штраф НИИМЭ почти на два года сорвал выпуск микросхем для спутников и техникиМинпромторг выставил штраф 38,8 млн рублей Научно-исследовательскому институту...

08:00, 28 Июн «Черная магия» Samsung: чипы памяти для Exynos 2600 в Galaxy S26 оказались в два раза меньше чипов памяти для Galaxy S26 Ultra Эти чипы — фирменная разработка Samsung LSIНовые и довольно интересные подробности об однокристальной системе Samsung Exynos 2600, используемой в сма...