В Зеленограде готовят площадку для установки металлизации чипов

ГК «Элемент» начала подготовку площадки в Зеленограде для первой российской промышленной установки алюминиевой металлизации чипов методом вакуумного напыления. Для нее строят специализированную чистую комнату и инженерную инфраструктуру уровня, который обычно требуется фабрикам микроэлектроники, а не обычным лабораториям. Параллельно Минпромторг финансирует разработку самой установки, которая должна

заменить системы Applied Materials и Evatec на линиях 180-90 нм. Проектирование инфраструктуры выполняет компания «Системные решения», выигравшая конкурс НИИ молекулярной электроники. Цена контракта составила 21 млн рублей. Испытательный центр разместят на площади около 350 кв. м в Зеленограде, а на разработку самой установки в федеральном бюджете на 2026 год предусмотрено около 2 млрд рублей. Речь идет о восьмимодульной системе вакуумного

напыления с двумя роботизированными манипуляторами для работы с 200-мм кремниевыми пластинами. Оборудование должно наносить слои алюминия, титана и нитрида титана. Эти материалы используют при формировании межсоединений и защитных покрытий на микросхемах. Завершить разработку планируется к концу сентября 2030 года. Для такой установки обычного помещения недостаточно. В проект заложены отдельные зоны для

нанесения металлизации, измерительного блока и инженерных систем. Основная производственная зона должна соответствовать классу чистоты ISO 6, а вспомогательные помещения — ISO 8. Также понадобятся резервное электропитание, подача сверхчистых газов, охлаждение, контроль электромагнитных помех и непрерывный мониторинг параметров среды. фильтрация воздуха до частиц 0,3 микрона температура около +22 ±2

°C влажность порядка 50% вибрации не выше 6 мкм/с Зависимость от зарубежных установок Для российского рынка это не рядовой проект по локализации. Установки осаждения и металлизации десятилетиями поставляли несколько зарубежных групп, в первую очередь Applied Materials, Lam Research, Tokyo Electron и Evatec. После ограничений на поставки такого оборудования именно этот сегмент стал одним из самых болезненных для

фабрик зрелых техпроцессов: заменить можно не только сам инструмент, но и всю связанную с ним инженерную обвязку, квалификацию процессов и сервис. Техпроцессы 180-90 нм выглядят скромно на фоне передовых норм, хотя для промышленной электроники, силовых компонентов, телеком-оборудования, смарт-карт и части автомобильной электроники это рабочий диапазон. Такие линии обычно строятся вокруг 200-мм пластин, и спрос на них в

мире сохраняется. SEMI ранее прогнозировала дальнейший рост мощностей 200-мм фабрик в мире до второй половины десятилетия, несмотря на общий фокус отрасли на более тонких нормах. Проблема в том, что даже при локальной разработке установки зависимость не исчезает автоматически. Эксперты отрасли признают, что часть компонентов для чистых помещений, газовых систем, вакуумной арматуры, измерения вибраций и

климатического контроля российские проекты все еще закупают за рубежом, чаще всего через Китай. Это делает сроки чувствительными не только к финансированию, но и к доступности комплектующих и сервисных цепочек. Для «Элемента» и НИИМЭ проект важен еще и как проверка способности собирать не отдельный

модуль, а связанный производственный контур. В российской микроэлектронике уже были примеры, когда разработка оборудования упиралась не в механику или вакуумную камеру, а в стабильность технологических режимов, программное управление и повторяемость результата на пластине. В металлизации именно

повторяемость определяет, можно ли переводить установку из статуса опытной в промышленную. Мировой рынок оборудования для выпуска полупроводников измеряется десятками миллиардов долларов в год, и в нем доминируют американские, японские и европейские поставщики.

На этом фоне российский проект выглядит точечным, зато его ниша понятна: зрелые техпроцессы, локальные фабрики и снижение зависимости от единичных импортных систем. Если разработку доведут до серийной эксплуатации к 2030 году, следующим узким местом станут уже не помещения, а

масштабирование сервисной поддержки и поставок расходных материалов для нескольких линий сразу.

В Зеленограде готовят площадку для установки металлизации чипов

Сообщает itzine.ru

Новость из рубрики: Технологии и Hi-Tech

Поделиться новостью: Поделиться новостью в Facebook Поделиться новостью в Twittere Поделиться новостью в VK Поделиться новостью в Pinterest Поделиться новостью в Reddit

Топ Новости Недели

10:00, 30 Май Глава NASA показал с вертолёта разрушенную после гигантского взрыва стартовую площадку ракеты New Glenn «Мы полны решимости помочь команде «Синих» восстановиться»Администратор NASA Джаред Айзекман прибыл на мыс Канаверал, где ранее взорвалась ракета New...

10:00, 22 Май Мошенники обманывают россиян под предлогом установки кондиционеров Они собирают конфиденциальную информацию и данные из документов пользователейМошенники используют разные схемы, связанные с установкой кондиционеров,...

21:00, 02 Июн macOS 26.5.1 доступна для установки: что нового и какие Mac можно обновить Apple неожиданно выкатила небольшое, но любопытное обновление — macOS 26.5.1 уже доступна для загрузки. По описанию это типичный точечный апдейт с од...

Система ЭРА-ГЛОНАСС для автомобилей: преимущества, особенности и важность профессиональной установки 18:00, 19 Апр Система «ЭРА-ГЛОНАСС» для автомобилей: преимущества, особенности и важность профессиональной установки Автомобильная промышленность активно развивается. Вместе с ней появляются новые технологии, повышающие уровень безопасности на дорогах. Одной из ключ...

17:00, 20 Апр Windows 11 больше не требует установки обновлений на этапе первоначальной настройки ОС Microsoft подтвердила, что теперь пользователи могут пропустить установку обновлений для Windows 11 на этапе первоначальной настройки операционной си...

03:00, 27 Апр Как держит заряд батарея после установки iOS 26.4.2. Узнай, повезло твоему Айфону или нет Как новая iOS 26.4.2 влияет на время работы iPhone? Apple неожиданно выпустила iOS 26.4.2 — всего через две недели после релиза iOS 26.4.1. Релиз жда...

01:00, 09 Май Это последнее предупреждение. ВС РФ готовят кольцо для ВСУ в Константиновке Пока действует перемирие, российские военные не продвигаются в зоне СВО, не наносят ударов и не начинают бой первыми. Однако, если ВСУ начинают завар...

19:00, 22 Май В ДНР готовят программу развития Макеевки на пять лет Власти Макеевки начали формирование среднесрочной программы развития города на ближайшие пять лет, пишет Донецкое агентство новостей со ссылкой на пр...

04:00, 14 Май Windows будет меньше глючить: Microsoft нашла способ быстро чинить Windows после установки проблемных драйверов Откат драйверов к стабильной версии будет осуществляться автоматическиMicrosoft анонсировала новую функцию для Windows — Cloud-Initiated Driver Recov...

10:00, 07 Май Семь пляжей в Брянске готовят к купальному сезону Семь пляжей в Брянске готовят к купальному сезону. Об этом сообщили в пресс-службе мэрии. На оперативном совещании в Брянской городской администрации...

01:00, 03 Июн Летний детский отдых: депутаты готовят налоговые льготы Жара, детский гвалт и запах сосновой хвои — это классика летних каникул. Но для родительского кошелька поездка ребенка в лагерь часто превращается в ...

22:00, 24 Май СКФУ и вьетнамский технический университет готовят совместные программы по ИИ Северо-Кавказский федеральный университет (СКФУ) договаривается о запуске совместных образовательных программ с государственным техническим университ...

04:00, 06 Май Охота на миллизаряды: физики из США готовят революцию в поиске частиц Мир большой физики застрял в ожидании. Пока гигантские ускорители частиц в США и Европе пожирают миллиарды долларов и десятилетия времени, ученые из ...

16:00, 04 Май Honor и ARRI готовят Robot Phone в этом году Robot Phone и ставка на съёмку Самое любопытное здесь не сам факт партнёрства, а то, кого Honor пытается копировать по ощущениям, а не по цифрам. ARR...

02:00, 27 Апр 1184 лошади под капотом: итальянцы готовят новый технологичный Lamborghini Итальянский производитель суперкаров вывел на дороги засекреченный прототип – это будущая версия Lamborghini Revuelto SV, и судя по всему, она станет...

13:00, 19 Май Треть россиян не готовят авто к продаже — результаты шокирующего опроса Большинство автовладельцев в России приводят машины в порядок перед продажей. Как выяснил автомобильный портал Дром, опросив более 6 тыс. водителей, ...

02:00, 12 Июн Деньги на старость без спроса: в России готовят радикальную пенсионную реформу Российские ведомства готовят к запуску систему установленных пенсионных программ (УПП), которая радикально изменит подход к формированию накоплений з...

06:00, 25 Май Huawei представила закон Tao для проектирования чипов Huawei предложила собственную альтернативу закону Мура и собирается вывести первый коммерческий чип с новой архитектурной схемой уже осенью 2026 года...

20:00, 18 Май Деликатесы готовят при вас за копейки: азиатский курорт который утрет нос привычной Турции Дананг открывает прямые рейсы из Владивостока, предлагая российским туристам безвизовый режим на 45 дней. Город сочетает европейскую инфраструктуру с...

12:00, 12 Июн Китай остановил поставки вольфрама в Японию для чипов Китай прекратил поставки высокочистого вольфрамового порошка в Японию, и это уже ударило по цепочке поставок материалов для производства чипов. Японс...

07:00, 13 Июн Китай запретил продажу и импорт GaN-чипов Infineon Верховный народный суд Китая оставил в силе судебный запрет против Infineon Technologies по делу о нарушении патентов на GaN-полупроводники, фактичес...

07:00, 13 Июн Huawei представила план Hongtu для 200 типов чипов Huawei объявила о запуске плана Hongtu, который должен расширить экосистему HarmonyOS далеко за пределы смартфонов и планшетов. Компания заявила, что...

14:00, 28 Апр Поставки чипов для смартфонов снизились на 8% в начале 2026 По данным аналитической компании Counterpoint Research, в первом квартале 2026 года глобальные поставки процессоров для смартфонов сократились на 8% ...

08:00, 16 Июн Qualcomm обсуждает покупку разработчика ИИ-чипов Tenstorrent Qualcomm ведёт переговоры о покупке стартапа Tenstorrent, который разрабатывает серверные ИИ-ускорители, пишет Reuters со ссылкой на The Information....

00:00, 08 Июн ВЭБ и правительство готовят законопроект об объединённом пенсионном фонде. Контрольный пакет заберёт государство ВЭБ.РФ совместно с правительством разрабатывает законопроект о создании объединённого пенсионного фонда. Контрольный пакет в новой структуре будет пр...

02:00, 12 Июн Работающим россиянам готовят новые выплаты: в системе пенсий намечается серьезный пересмотр Внедрение корпоративных пенсионных программ станет важным этапом развития социальной ответственности бизнеса и обеспечит гражданам дополнительные вып...

17:00, 19 Апр NASA и Katalyst готовят спутник LINK для спасения обсерватории Swift от схода с орбиты Новый аппарат должен впервые поднять орбиту 21-летнего спутника и продлить его научную миссиюИнженеры компании Katalyst Space Technologies начали тес...

21:00, 15 Май Android-смартфоны станут дороже iPhone из-за новых чипов Флагманские смартфоны на операционной системе Android в ближайшие месяцы рискуют сравняться по цене с iPhone, а в отдельных случаях — и превзойти их....

04:00, 13 Июн Google обсуждает выпуск части ИИ-чипов Icefish на Samsung Google ведёт переговоры с Samsung Electronics о производстве части своих будущих ИИ-чипов TPU поколения Icefish. Если договорённость состоится, компа...

01:00, 07 Июн Запущен первый промышленный сканер для выпуска чипов по технологии 28 нанометров В подмосковном Зеленограде 6 июня 2026 года состоялась торжественная церемония запуска первого полностью отечественного литографического сканера, пре...

11:00, 03 Май Ученые СПбГУ создали новый тип логических элементов для нейроморфных чипов В пресс-службе Санкт-Петербургского государственного университета сообщили, что ученые вуза предложили свежий подход к созданию логических элементов ...

14:00, 14 Июн Минюст США одобрил без условий сделку Paramount Skydance на $110 млрд по покупке Warner Bros — штаты готовят иск Федеральный регулятор закрыл антимонопольную проверку крупнейшего слияния голливудских студий, но коалиция штатов во главе с Калифорнией пытается заб...

14:00, 05 Июн Oppo и vivo готовят конкурентов DJI Osmo Pocket. Новые камеры получат сенсор на 200 Мп и флагманскую начинку Похоже, популярность компактных камер DJI Osmo Pocket заставила крупнейших производителей смартфонов обратить внимание на этот сегмент. По данным авт...

18:00, 06 Май Строительство мегазавода Terafab по производству чипов обойдется SpaceX в 55 миллиардов долларов Но общий объем инвестиций в крупнейшее полупроводниковое производство в мире будет намного большеSpaceX Илона Маска готовится к запуску амбициозного ...

14:00, 27 Апр MediaTek расширяет линейку чипов – представлены Dimensity 7450, 7450X и 7300e MediaTek представила чипсеты Dimensity 7450 и Dimensity 7450X. Полноценного анонса пока не было, однако обе модели уже появились на сайте производите...

14:00, 15 Июн Казахстан вложит $10 млрд в ИИ-инфраструктуру и создаст кластер на 100 тысяч новейших чипов Nvidia Проект «Долина ЦОДов» в Павлодарской области должен стать крупнейшей площадкой в Центральной Азии и приносить стране до $3 млрд экспортной выручки еж...

02:00, 20 Апр Google расширяет цепочку поставщиков ИИ-чипов: в переговорах с Marvell Technology о новом TPU для инференса Компания обсуждает кастом ИИ-чипов на фоне смещения рынка в сторону инференса и роста ASIC-сегмента до $118 млрд к 2033 годуGoogle ведёт переговоры с...

04:00, 13 Июн Google может впервые доверить часть выпуска своих ИИ-чипов Icefish в пользу Samsung вместо TSMC Для корейской компании это может стать одним из крупнейших успехов в борьбе за рынок передовых чипов для искусственного интеллектаGoogle ведёт перего...

17:00, 06 Июн Дешевая китайская память DDR5 — это миф. Чипы памяти CXMT стоят на уровне чипов Samsung, SK Hynix и Micron Преимущество CXMT не стоимость, а доступные объемы и отсутствие строгих контрактных ограниченийКитайский производитель памяти ChangXin Memory Technol...

14:00, 09 Май Завод из «российской Кремниевой долины» оказался на грани после мегапроекта по производству 130-нанометровых чипов: «Ангстрем» будут спасать Судьбу легендарного завода «Ангстрем» решат за ближайшие 18 месяцевЗеленоградский микроэлектронный завод «Ангстрем», накопивший долги более чем на 20...

05:00, 30 Май Новейший завод Samsung за $17 миллиардов оживает: массовый выпуск 2-нанометровых чипов на американской фабрике стартует в 2027 году В основном будут выпускать однокристальные системы Tesla AI5 и Tesla AI6Строительство большого завода Samsung по контрактному производству микросхем ...

13:00, 12 Июн Месть за санкции? Китай лишил Японию вольфрамового порошка, из-за чего может пострадать производство чипов TSMC, Samsung и SK Hynix Из вольфрамового порошка делают гексафторида вольфрама, необходимый для производства чипов памятиКитай прекратил поставки высокочистого вольфрамового...

07:00, 15 Май В России должны были запустить производство чипов на замену Intel, но исполнитель допустил просрочку на два года — Минпромторг выписал крупный штраф НИИМЭ почти на два года сорвал выпуск микросхем для спутников и техникиМинпромторг выставил штраф 38,8 млн рублей Научно-исследовательскому институту...